ประโยคภาษาจีน : 中文句子 |
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wén zhōng 文中 bìng 并 tí chū 提出 kòu huán 扣环 kuān 宽 jí qí 及其 suǒ 所 chéng shòu 承受 de 的 bèi 背 yā 压 zhī 之 zuì jiā 最佳 xuǎn qǔ 选取 zhǔn zé 准则 yǐ qī 以期 dá dào 达到 zuì dà 最大 zhī 之 jiē chù 接触 jūn yún 均匀 |
Through systematic parameter studies, we deduce certain guidelines for choosing the optimal retaining ring width and back pressure that minimize the contact stress non-uniformity on the wafer surface. |