ประโยคภาษาจีน : 中文句子 |
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fēn xī 分析 le 了 guāng kè 光刻 tú xíng 图形 cè 侧 qiáng 墙 xié pō 斜坡 duì 对 lí zǐ 离子 zhù rù 注入 hòu 后 tú xíng 图形 tè zhēng 特征 chǐ cun 尺寸 de 的 yǐng xiǎng 影响 |
Influences of side-wall slope of photolithography pattern on characteristic dimensions after ion implantation are analyzed. |