ประโยคภาษาจีน : 中文句子 |
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zài 在 gāo 高 shù zhí 数值 kǒng jìng 孔径 dī 低 gōng yì 工艺 yīn zǐ 因子 de 的 guāng kè 光刻 jì shù 技术 zhōng 中 tóu yǐng 投影 wù jìng 物镜 huì 彗 chà 差 duì 对 guāng kè 光刻 zhì liàng 质量 de 的 yǐng xiǎng 影响 biàn de 变得 yuè lái yuè 越来越 tū chū 突出 yīn ér 因而 xū yào 需要 yì zhǒng 一种 kuài sù 快速 gāo jīng dù 高精度 de 的 huì 彗 chà 差 yuán wèi 原位 cè liáng 测量 jì shù 技术 |
In high numerical aperture and low technic factor lithography process, degradation of the image quality because of the coma aberration in the projection lens has become a serious problem. |