ประโยคภาษาจีน : 中文句子 |
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wēi 微 jī diàn jì 机电系 tǒng 统 de 的 dòng tài 动态 biǎo zhēng 表征 shì 是 wèi 为 kě dòng 可动 qì jiàn 器件 de 的 shè jì 设计 hé 和 jiā gōng 加工 guò chéng 过程 tí gōng 提供 kě kào 可靠 de 的 shí yàn 实验 shù jù 数据 fǎn kuì 反馈 |
A purpose for dynamic MEMS characterization is to provide reliable experimental data feedback to the process of design and fabrication of movable MEMS devices. |