ประโยคภาษาจีน : 中文句子 |
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cǎi yòng 采用 shèn gāo pín 甚高频 děng lí zǐ tǐ 等离子体 zēng qiáng 增强 huà xué 化学 qì xiàng 气相 chén jī 沉积 jì shù 技术 zhì bèi 制备 le 了 bù tóng 不同 chèn dǐ 衬底 wēn dù 温度 de 的 wēi jīng 微晶 guī 硅 bó mó 薄膜 |
Non-uniformity of microcrystalline silicon thin film deposited by VHF-PECVD along the growth direction was studied. |