ประโยคภาษาจีน : 中文句子 |
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cǎi yòng 采用 shèn gāo pín 甚高频 děng lí zǐ tǐ 等离子体 zēng qiáng 增强 huà xué 化学 qì xiàng 气相 chén jī 沉积 jì shù 技术 zhì bèi 制备 le 了 xì liè 系列 bù tóng 不同 chén jī 沉积 tiáo jiàn 条件 de 的 wēi jīng 微晶 guī 硅 bó mó 薄膜 |
Microcrystalline silicon thin films prepared at different deposition parameters using very high frequency plasma enhanced chemical vapor deposition (VHF-PECVD). |