ประโยคภาษาจีน : 中文句子 |
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yán jiū 研究 le 了 gè zhǒng 各种 shí yàn 实验 cān shù 参数 duì 对 chén jī 沉积 sù lǜ 速率 bó mó 薄膜 zǔ chéng 组成 jí 及 mó 膜 céng 层 yìng dù 硬度 de 的 yǐng xiǎng 影响 rèn wéi 认为 piān yā 偏压 shì 是 zuì 最 jù 具 yǐng xiǎng 影响 de 的 cān shù 参数 |
The influence of various experimental parameters on deposition rate film composition and hardness has been studied, Bias is considered as the most effective Darameter. |