ประโยคภาษาจีน : 中文句子 |
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wén zhāng 文章 jiè shào 介绍 zhì bèi 制备 guāng huà xué 光化学 qì xiàng 气相 diàn jī 淀积 dàn huà guī 氮化硅 bó mó 薄膜 de 的 yuán lǐ 原理 shè bèi 设备 jí 及 shí yàn 实验 jiē guǒ 结果 |
This paper concerns photo-CVD silicon nitride film including the deposition mechanism, equipment and the growth process. |