ประโยคภาษาจีน : 中文句子 |
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lì yòng 利用 zhòng lí zǐ 重离子 zhù rù 注入 xíng chéng 形成 guāng bō 光波 dǎo 导 biǎo 表 xiàn chū 现出 dú tè 独特 de 的 yōu diǎn 优点 yǔ 与 qīng 轻 lí zǐ 离子 zhù rù 注入 xiāng bǐ 相比 zhù rù 注入 jì liàng 剂量 kě yǐ 可以 jiàng dī 降低 gè shǔ 个数 liáng jí 量级 kě yǐ 可以 dà dà 大大 jiàng dī 降低 zhì zào 制造 chéng běn 成本 |
Waveguides formed by heavy ions implantation show an unique advantages: the beam dose can be 1-3 order lower than that of light ion implantation and it can reduce the fabrication cost significantly. |