ประโยคภาษาจีน : 中文句子 |
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tí chū 提出 le 了 yì zhǒng 一种 shǐ yòng 使用 biǎo miàn 表面 jiā gōng 加工 gōng yì 工艺 shè jì 设计 duō jīng guī 多晶硅 bó mó 薄膜 rè dǎo lǜ 热导率 de 的 cè shì 测试 jié gòu 结构 lùn wén 论文 tuī dǎo 推导 le 了 rè xué 热学 mó xíng 模型 gěi chū 给出 le 了 cè shì 测试 fāng fǎ 方法 |
| A new test structure for measuring thermal conductivity of polysilicon thin films by using surface micromachining process is proposed. The measuring method and thermal modeling are given. |