ประโยคภาษาจีน : 中文句子 |
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zài 在 chān zá 掺杂 shì 室 cǎi yòng 采用 shèn gāo pín 甚高频 děng lí zǐ tǐ 等离子体 zēng qiáng 增强 huà xué 化学 qì xiàng 气相 chén jī 沉积 jì shù 技术 zhì bèi 制备 le 了 bù tóng 不同 guī wán 硅烷 nóng dù 浓度 tiáo jiàn 条件 xià 下 de 的 běn 本 zhēng 征 wēi jīng 微晶 guī 硅 bó mó 薄膜 |
A series of microcrystalline silicon thin films were fabricated by very high frequency plasma enhanced chemical vapor deposition (VHF-PECVD) at different silane concentrations in a P chamber. |