ประโยคภาษาจีน : 中文句子 |
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jié hé 结合 jī guāng 激光 wài chā 外差 gān shè 干涉 fǎ 法 hé 和 tòu shè 透射 shì 式 tuǒ 椭 piān 偏 cè liáng 测量 yuán lǐ 原理 yán jiū 研究 le 了 yì zhǒng 一种 kuài sù 快速 gāo jīng dù 高精度 cè liáng 测量 nà mǐ 纳米 hòu dù 厚度 bó mó 薄膜 guāng xué 光学 cān shù 参数 de 的 fāng fǎ 方法 |
Combining optical heterodyne interferometry with transmitted ellipsometry, a new precision method with high speed was applied to the measurement of nanometer film. |