ประโยคภาษาจีน : 中文句子 |
---|
yòng 用 diàn zǐ 电子 cì 朿 zhēng fā 蒸发 fāng fǎ 方法 zài 在 guī 硅 shàng 上 zhēng 蒸 shàng yī 上一 céng 层 mó 膜 tài 钛 hòu 后 zài zhēn kōng zhōng 在真空中 jìn xíng 进行 de 的 miǎo zhōng 秒钟 děng 等 shí 时 kuài sù 快速 rè 热 tuì huǒ 退火 yǐ jí 以及 cóng 从 miǎo 秒 dào 到 miǎo 秒 de 的 děng wēn 等温 kuài sù 快速 rè 热 tuì huǒ 退火 |
Titanium films which are deposited on Si wafers by electron beam evaporation are rapid thermal annealed in a vacuum at temperatures between 550 and 1000℃ for 10 sec and at 850℃ for 4-30 sec. |