ประโยคภาษาจีน : 中文句子 |
---|
yǐ 以 huó 和 wèi 为 yuán 源 qì tǐ 气体 lì yòng 利用 shè pín 射频 děng lí zǐ tǐ 等离子体 zēng qiáng 增强 huà xué 化学 qì xiàng 气相 chén jī 沉积 fǎ 法 zài 在 bù tóng 不同 tiáo jiàn 条件 xià 下 zhì bèi 制备 le 了 fú huà 氟化 lèi 类 jīn gāng shí 金刚石 bó mó 薄膜 bìng 并 jìn xíng 进行 le 了 tuì huǒ 退火 chǔ lǐ 处理 |
Fluorinated diamond-like carbon(F-DLC) films were grown by RF plasma enhanced chemical vapor deposition(PECVD) in a gas mixture of CF4 and CH4 and annealed in Ar environment. |