ประโยคภาษาจีน : 中文句子 |
---|
gēn jù 根据 bù fen 部分 xiāng gān 相干 guāng 光 chéng xiàng 成像 lǐ lùn 理论 hé 和 kàng 抗 shí 蚀 jì 剂 bào guāng 曝光 xiǎn yǐng 显影 mó xíng 模型 mó nǐ 模拟 jì suàn 计算 le 了 zhè zhǒng 这种 huī 灰 jiē 阶 biān mǎ 编码 yǎn 掩 mó 模 chǎn shēng 产生 de 的 kōng jiān 空间 guāng 光 qiáng 强 fēn bù 分布 hé 和 guāng kè 光刻 jiāo 胶 shàng 上 de 的 fú diāo 浮雕 jié gòu 结构 |
Based on the theory of partial coherent light imaging and the resist development model, the intensity distribution through the coding gray-tone mask and exposure of photoresist have been simulated. |