ประโยคภาษาจีน : 中文句子 |
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zhè xiē 这些 fāng fǎ 方法 jiǎn shǎo 减少 huò 或 fáng zhǐ 防止 děng lí zǐ tǐ 等离子体 gǎn yìng 感应 diàn hè 电荷 yóu yú 由于 wú dìng xíng tàn 无定形碳 bó mó 薄膜 de 的 chén jī 沉积 ér 而 sǔn huài 损坏 chèn dǐ 衬底 |
The methods reduce or prevent plasma-induced charge damage to the substrates from the deposition of the amorphous carbon films. |