ประโยคภาษาจีน : 中文句子 |
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dì èr 第二 gè 个 tí gāo 提高 tè zhēng 特征 chǐ cun 尺寸 kě 可 kè 刻 xìng 性 de 的 fāng fǎ 方法 shì 是 zēng jiā 增加 guāng kè 光刻 chéng xiàng 成像 gōng jù 工具 de 的 shù zhí 数值 kǒng jìng 孔径 yǐ jí 以及 cǎi yòng 采用 jìn 浸 yè 液 shì 式 guāng kè 光刻 |
A second was to improve printability of feature sizes is to increase the numerical aperture (NA) of the lithographic imaging tool, with water immersion lithography currently being used. |