ประโยคภาษาจีน : 中文句子 |
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cán liú 残留 biǎo miàn 表面 diàn wèi 电位 huì 会 zài 在 hòu xù 后续 guān cè 观测 zhōng 中 yǐn rù 引入 wù chā 误差 yǐng xiǎng 影响 lín jiè 临界 chǐ dù 尺度 sǎo miáo 扫描 diàn jìng 电镜 fǎ 法 de 的 cè liáng 测量 jīng dù 精度 bìng 并 zài 在 diàn zǐ shù 电子束 guāng kè 光刻 zhōng 中 zào chéng 造成 wèi zhi 位置 wù chā 误差 |
| The residual surface potential may introduce errors in following observations, affect measurement accuracy in critical dimension SEM and cause pattern placement errors in electron beam lithography. |